股权激励覆盖面广，核心人才深度绑定公司成长。本次激励计划涉及517 名员工，约占公司2022 年6 月30 日全部职工人数的76%，涵盖高级管理人员、核心技术人员及其他核心员工；拟一次性授予280 万股限制性股票，约占公告日公司总股本的2.21%；授予价格为105 元/股，公告日公司收盘价为298.5 元/股。此次股权激励方案覆盖面广，以股权绑定核心人才，能够充分调动公司业务骨干的积极性，为公司长远稳健发展提供保障。
业绩考核高标准，凸显公司长期发展信心。根据本次草案发布的行权解锁条件，22-25 年目标收入较21 年增速不低于100%/200%/300%/400%，对应收入15.2/22.7/30.3/37.9 亿， 22-25 年目标净利润较21 年增速不低于270%/490%/700%/900%，对应净利润2.5/4.0/5.5/6.8 亿。根据公司当前股价测算2022 至2026 年的费用摊销合计约5.78 亿。当前公司处于业绩放量早期，随着核心产品PECVD 产业化能力进一步增强/新品矩阵日臻完善，以及产能利用率不断提升，公司规模效应将日益凸显，而激励计划中利润端增速解锁条件较收入端更加严苛，彰显了公司对中长期经营稳步向好的信心。
在手订单充沛短期业绩高增无虞，国产替代加速拉开长期增长序幕。2022 年上半年公司营业收入5.23 亿元，同比高增365%，各项业务突飞猛进，归母净利润1.08 亿元，实现扭亏为盈；截止2022H1，公司合同负债和存货分别为10.87/15.63 亿元，在手订单充沛且交付情况良好，公司经营状况趋势向好。中美贸易摩擦背景下设备国产化趋势明显，根据IC Insights 数据，2022 年中国大陆主要晶圆厂资本开支或同比+6%至约152 亿美元，占全球比重约8%，已至近三年来低谷，而随着国内半导体设备厂商加大产品开拓力度，下游晶圆厂积极配合设备验证导入，国内成熟制程产线建设有望提速，相关半导体设备厂商有望在后续国产替代进程中进一步提升份额，业绩增速有望维持高位。
投资建议：全球半导体设备市场持续高景气，公司显著受益于薄膜沉积设备需求增长和国产替代机遇。公司为唯一实现产业化应用的12 寸PECVD&SACVD设备国产厂商，随着ALD 设备能力的逐步增强，后续有望持续提升市场份额。
